化学气相沉积技术的技术类型

化学气相沉淀废气
2022-01-13
来源:化学气相沉淀废气

化学气相沉积装置Z主要的元件就是反应器。按照反应器结构上的差别,我们可以把化学气相沉积技术分成开管/封管气流法两种类型:

1 封管法

这种反应方式是将一定量的反应物质和集体放置于反应器的两边,将反应器中抽成真空, 再向其中注入部分输运气体,然后再次密封, 再控制反应器两端的温度使其有一定差别,它的优点是:①能有效够避免外部污染;②无须持续抽气就能使是内部保持真空。它的缺点是:①材料产生速度慢;②管中的压力不容易掌握。

2 开管法

这种制备方法的特点是反应气体混合物能够随时补充。废气也可以及时排出反应装置。以加热方法为区分,开管气流法应分为热壁和冷壁两种。前者的加热会让整个沉积室壁都会因此变热,所以管壁上同样会发生沉积。 后者只有机体自身会被加热,也就没有上述缺点。 冷壁式加热一般会使用感应加热、通电加热以及红外加热等等。

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